Způsob výroby silikonového mikro prášku

Za prvé, trichlorsilanová metoda přidá suchý křemíkový prášek do syntézní pece a podstoupí chlorační reakci se zavedeným suchým plynným chlorovodíkem v přítomnosti katalyzátoru chloridu měďného při {{0}} stupni. Reakční plyn se oddělí cyklónem, aby se odstranily nečistoty, a poté se plynný trichlorsilan kondenzuje do kapaliny pomocí zmražené slané vody s chloridem vápenatým. Destiluje se a kondenzuje v surové destilační věži, aby se odstranily vysokovroucí a nízkovroucí látky, a poté se destiluje a kondenzuje v destilační věži za získání rafinované trichlorsilanové kapaliny. Čistota by měla dosáhnout 7 nebo více „9“, obsah nečistot by měl být menší než 1 × 10-7 a požadavek na bor by měl být nižší než 0,5 × 10-9. Vyčištěný trichlorsilan se posílá do redukční pece z nerezové oceli, kde se jako redukční činidlo používá ultračistý plynný vodík k redukci na křemík při 1050-1100 stupni. Křemíkové jádro se používá jako nosič pro ukládání polykrystalických křemíkových produktů.

Za druhé, smíchejte oxid křemičitý s přibližně 95% obsahem SiO2 a koks s nízkým obsahem popela, zahřejte na asi 1900 stupňů pro redukci. Čistota křemíku vyrobeného touto metodou je 97%~98%, což se nazývá kovový křemík. Po roztavení kovového křemíku podstoupí rekrystalizaci a nečistoty se odstraní kyselinou, čímž se získá kovový křemík o čistotě 99,7 %~99,8 %. Aby se z něj stal polovodičový křemík, je nutné jej převést na kapalnou nebo plynnou formu, kterou lze snadno čistit, a poté získat polykrystalický křemík destilací a rozkladnými procesy. K získání vysoce čistého křemíku je nutné další čištění.

Za třetí, smíchejte oxid křemičitý s přibližně 95% obsahem SiO2 a koks s nízkým obsahem popela a použijte 1000-3000kVA pec s otevřeným obloukem pro zahřátí na přibližně 1900 stupňů pro redukci.